- Notice
Métrologie virtuelle
Vedette matière nom commun. S'emploie en tête de vedette.
<Employé pour :
Mesure virtuelle
Virtual Metrology
VM
Mesure virtuelle
Virtual Metrology
VM
Source(s) :
Modélisation et quantification tridimensionnelles des écarts de fabrication pour la simulation d'usinage / S. Tichadou, 2004 [thèse] . - Development of Virtual Metrology in semiconductor manufacturing / B. S. Gill, 2011 [thèse] . - The impact of the Virtual Metrology on a Run-to-Run control for a chemical mechanical planarization process, 2017
Modélisation et quantification tridimensionnelles des écarts de fabrication pour la simulation d'usinage / S. Tichadou, 2004 [thèse] . - Development of Virtual Metrology in semiconductor manufacturing / B. S. Gill, 2011 [thèse] . - The impact of the Virtual Metrology on a Run-to-Run control for a chemical mechanical planarization process, 2017
Domaine(s) : 600
. - 621
. - 650
Pas de correspondance :
- LCSH (Library of Congress Subject Headings)
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec))
- LCSH (Library of Congress Subject Headings)
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec))
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb177710826
Notice n° :
FRBNF17771082
Création :
18/10/29
Mise à jour :
18/10/29
